ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЙ СЕРВИС:
- В предлагаемых установках все источники прекурсоров могут быть как нагреваемые так и не нагреваемые. Стандартные контейнеры, поставляемые с установкой, имеют ёмкость 50 мл, однако, к установке могут быть подключены емкости практически любого размера. Благодаря компактным размерам контейнеры могут заполняться прекурсорами, чувствительных к кислороду воздуха и влаге как в перчаточном боксе, так и в более экономичных специальных пакетах.
- Предлагается возможность последующей дозакупки и дооснащения оборудования дополнительными опциями на любой стадии и в любое время после поставки.
- Разработка АСО/МСО, и АСТ оборудования под заказчика (размер камеры, температура подложки, материал и т.д).
- Опция кварцевый измеритель толщины пленки (КПМ) в режиме реального времени КПМ и масс спектрометрии. Предлагается комплект запчастей, консалтинг по использованию и внедрению.
- Сервис по загрузке прекурсоров в контейнеры для дозирования.
- Научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы для новых процессов осаждения (АСО, МСО) и травления (АСТ) функциональных тонких пленок.
- Консалтинг по химии/рецептуре термического и плазмохимического осаждения и травления тонких пленок. За оплату может быть предоставлен доступ к нашей информационно-аналитической базе “АСО БазаТех” с рецептурами и условиями осаждения АСО, МСО пленок и травлению (АСТ).
- Осаждение тонких пленок АСО (неорганические), МСО (органические, гибридные). Список стандартных материалов по запросу.
- Травление (атомно-слоевое, АСТ) тонких пленок. Список материалов по запросу.
- Осаждение АСО и МСО покрытий на дисперсных материалах (по запросу).
- Поставка установок с коррозионностойким механическим и турбомолекулярным насосами.
- Поставка установок с подключением Триметилалюминия (ТМА) для АСО Al2O3.
- Ускоренная поставка Триметилалюминия (Al(CH3)3, хлорида титана (TiCl4) и диэтилцинка (Zn(C2H4)2).
- Ускоренная поставка компонентов и запчастей элементов вакуумного оборудования.