ВНЕШНИЕ ПАРАМЕТРЫ УСТАНОВКИ
ВОЗМОЖНОСТИ:
- Термическое АСО, МСО и АСТ
- Осаждение на плоских, дисперсных и объемных подложках
- КПМ Мониторинг
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
- Размер подложки: 200 мм (стандартная Si подложка) и меньше
- Основные размеры установки: (Д х Ш х В) 600мм x 600мм x 1150мм
- Корпус: Железный шкаф на антивибрационных ножках. Может быть установлена в чистой комнате класса 100.
- Вакуумная камера: Выполнен из нержавеющей стали. Система поперечного течения газа. Горячие стенки.
- Режимы работы установки: Поточный и статический.
- Питание: 220 VAC, 16A
- Контрольная система: PLC контроллер с LabView компьютерным интерфейсом
- Максимальная температура подложки: 350˚C
- Однородность пленок по толщине (для Al2O3): < 1%
- Источники прекурсоров: 6 линии подачи газов с нагревом до 60˚С (стандарт). Дополнительная опция: с нагревом до 200˚С.
- Дозирующие вентили: 6 низкотемпературных вентилей (стандартная комплектация). Опция – шесть высокоскоростных, высокотемпературных (200˚C) вентилей, с временем реакции <10 mсек.
- Резервуары для прекурсоров: В стандартной комплектации установка не имеет высокотемпратурных линий подачи прекурсоров. Опция – до четырех линии с термостатируемыми (до 200˚C) резервуарами (~50мл).
- Гарантия: 1 год
ОПЦИИ:
- Дозирующие вентили: Установка может быть укомплектована высокотемпературными (до 200˚C), высокоскоростными вентилями с временем реакции <10 mсек. Максимальное количество – 6 шт.
- Нагреваемые резервуары: Установка с оснащенная только высокотемпературными вентилями может быть укомплектована термостатируемыми резервуарами (~50мл) для подачи реагентов с низким давлением паров. Максимальное количество – 6 шт.
- Генератор Озона (О3) с балластом и деактиватором.
- Генератор азота (N2).
- Специальный держатель для осаждения на дисперсных материалах.
- Система нейтрализации газовых отходов осаждения на выходе.
- Система мониторинга работы механического насоса.
- Продление гарантии: 2 года
Обращайтесь за консультациями для определения оптимальной конфигурации оборудования