ВНЕШНИЕ ПАРАМЕТРЫ
ВОЗМОЖНОСТИ
- Термическое АСО, МСО и АСТ
- Осаждение партиями
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ УСТАНОВКИ:
- Размер камеры: 200 мм (стандартная Si подложка) и меньше
- Основные размеры установки: (Д х Ш х В) 600мм x 600мм x 1150мм. Размер камеры осаждения: 2750 см3
- Корпус: Шкаф на антивибрационных ножках. Может быть установлена в чистой комнате класса 100.
- Вакуумная камера: Выполнен из нержавеющей стали. Газовые магистрали, запорная арматура и резервуары для реагентов выполнены из нержавеющей стали.
- Режимы работы установки: Проточный и статический. Проточный для покрытий на плоских подложках и статический для осаждения на дисперсных и 3D материалах
- Питание: 220 В, 16A
- Контрольная система: PLC контроллер с LabView компьютерным интерфейсом
- Максимальная температура подложки: До 350˚C
- Однородность полученных пленок по толщине: < 1% для Al2O3
- Источники прекурсоров: Всего 4 линии подачи газов
- Дозирующие вентили: Укомплектован четырьмя низкотемпературными (60˚C), вентиля для дозировки прекурсоров, см. опции.
- Резервуары для прекурсоров: 2 шт. ~50мл каждый.
- Газ-носитель: N2 или Ar с контролируемой подачей
- Гарантия: 1 год
ОПЦИИ
- Укомплектован четырьмя высокоскоростными, высокотемпературными (200˚C), вентиля для дозировки прекурсоров с временем реакции <10 mсек
- Установка может быть укомплектована 3я линиями подачи реагентов с низким давлением паров с тремя термостатируемыми резервуарами (~50мл). Газовые магистрали, запорная арматура и резервуары для реагентов выполнены из нержавеющей стали.
- Размер резервуаров для прекурсоров может быть увеличен по желанию заказчика.
- Озоновый (О3) генератор с балластом и деактиватором.
- Генератор азота (N2).
Обращайтесь за консультациями для определения оптимальной конфигурации оборудования