ВНЕШНИЕ ПАРАМЕТРЫ
ВОЗМОЖНОСТИ
- Плазма-стимулированное и термическое АСО и АСТ
- В стандартной комплектации имеется шлюз для загрузки подложки
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ УСТАНОВКИ:
- Размер подложки: до 76 мм
- Размеры установки: (Д х Ш х В) 600мм x 600мм x 1150мм
- Размер вакуумной камеры: 390 см3
- Камера: Выполнена из коррозионностойкой нержавеющей стали. Система поперечного течения газа.
- Корпус: Шкаф на антивибрационных ножках. Может быть установлена в чистой комнате класса 100.
- Режимы работы: Поточный и статический.
- Питание: 220 В, 16A
- Контрольная система: PLC контроллер с LabView компьютерным интерфейсом
- Максимальная температура подложки: до 400˚C
- Однородность покрытий по толщине: < 1% для АСО Al2O3
- Скорость АСО цикла: 2 секунды для Al2O3 при 200˚C
- Дозирующие вентили: 4 шт. в стандартной комплектации. Максимальный нагрев вентилей до 60˚C. Опция до 200˚C.
- Источник плазмы: Полый катод
- Мощность: до 300 Ватт в стандартной комплектации
- РЧ генератор: 13.56 Гц
- Резервуары для прекурсоров (~50мл): 2 шт. в стандартной комплектации (без нагрева). Максимально – 4 шт. см. опции.
- Газ-носитель: N2 или Ar с контролируемой подачей
- Гарантия: 1 год с возможностью продления
ОПЦИИ:
- Дозирующие вентили: Установка может быть укомплектована высокотемпературными (до 200˚C), высокоскоростными вентилями с временем реакции <10 mсек. Максимальное количество – 4 шт.
- Нагреваемые резервуары: Установка оснащенная высокотемпературными вентилями может быть укомплектована термостатируемыми резервуарами (~50мл или больше) для подачи реагентов с низким давлением паров. Максимальное количество – 4 шт.
- Мощность источника плазмы: до 500 Ватт
- Генератор Озона (О3) с балластом и деактиватором.
- Генератор Азота (N2) для использования в качестве газа носителя
- Дополнительная гарантия на оборудование: 2 года
Обращайтесь за консультациями для определения оптимальной конфигурации