Компанией предлагается вакуумное оборудование и их компоненты для атомно-слоевого осаждения (АСО), молекулярно-слоевого осаждения (МСО) и атомно-слоевого травления (АСТ). Оборудование может быть использовано как для научно-исследовательских работ так и для производства. Все оборудование спроектировано с максимальным привлечением комплектующих российских производителей, а также ведущих в вакуумной отрасли зарубежных компаний Swagelok, MKS, Kurt Lesker, Fujikin, Inficon, и т.д.
Данный аппарат предназначен как для научно-исследовательских работ, так и изготовления штучной продукции с использованием технологий термического АСО, МСО и АСТ. Объем рабочей камеры – 736 см3, внутренний диаметр – 25 см и высота – 1.5 см. Максимальная температура подложки – 350˚C. Пленки могут осаждаться как на плоских подложках (кремниевые подложки диаметром до 200 мм), так и дисперсных материалах (в специальном держателе). В стандартной конфигурации возможно осаждение пленок, их сплавов и наноламинатов, с использованием до 6 прекурсоров одновременно. Более детальную информацию можно получит на странице установки.
Оборудование предназначено как для научно-исследовательских работ, так и для осаждения АСО и МСО покрытий малыми партиями. Данная установка снабжена самой большой реакционной камерой из предлагаемых нашей компанией. Рабочий объемом камеры 2750 см3, где внутренний диаметр 10 см, а длина 35 см. Подложки могут размещаться в камере осаждения штабелями по направлению потока газа. В стандартной конфигурации максимальная температура осаждения – 250˚C. В дополнительной конфигурации максимальная температура осаждения может быть доведена до 350˚C. Детальную информацию об установке можно получить на странице.
Установка предназначена для проведения как научно-исследовательских работ, так и изготовления штучной продукции. В качестве подложки могут быть использованы плоские (кремниевые) подложки диаметром до 3″ (76 мм). Установка оборудована шлюзом для загрузки подложки диаметром не более 2″ (50 мм). Подложка размером до 3″ может загружаться с передней двери (опция). Наличие дифференциально откачиваемой шлюзовой камеры сводит к минимуму присутствие кислорода в основной камере. Плазма генерируется в полом катоде, изготовленном из нержавеющей стали, что также снижает содержание примесей кислорода по сравнению с ИСП источниками плазмы, изготавливаемыми с использованием кварцевых трубок. Наличие источника плазмы позволяет осаждать пленки не только термическим способом (АСО, МСО и АСТ), но и плазмо-стимулированным (ПС-АСО и ПС-АСТ). Это значительно расширяет спектр осаждаемых материалов. Использование плазмы позволяет снизить температуру осаждения или травления некоторых материалов. Детальную информацию об установке можно получит на странице.
Предлагается опция продажи отдельно электроники (блока управления) и/или программного обеспечения. Блок электроники включает в себя контролер температуры (8 линий стандарт), питание для датчика давления, расходомера газа, блока соленоидов и т.д. Кроме этого, предлагается программное обеспечение (ПО), позволяющее устанавливать и читать температуру реактора и нагреваемых реагентов, активировать пневматические вентили по заданной программе, устанавливать поток газа носителя, читать данные датчика давления и как дополнительная опция – возможность считывания и записи данных кварцевых пьезоэлектрических весов (КПМ). Детальная информация здесь.